Коды операций фотохимико-физической обработки
Фотохимико-физическая обработка – процесс формирования на поверхности пластины элементов микросхем при помощи чувствительных к излучениям покрытий, способных воспроизводить заданное взаимное расположение и конфигурацию этих элементов.
Технологические операции классифицируют в той технологической последовательности, в которой происходит получение схем, фотошаблонов.
Часть операций этого раздела (нанесение фоторезиста, удаление фоторезиста, монтаж оригинала), как неспецифичные для этого процесса, вынесены в другие разделы («Операции общего назначения», «Термическая обработка», «Сборка» и др.).
Перечень наименований операций и их коды приведены в таблице.
| Код | Наименование операции | ||
|---|---|---|---|
| 5500 | Фотохимико-физическая обработка | ||
| 5510 | Изготовление оригинала | ||
| 5511 | Изготовление оригинала | пересчетом таблицы координат | |
| 5512 | вырезанием | ||
| 5513 | вырезанием | на автоматическом координатографе | |
| 5514 | на координатографе в режиме ручного ввода информации | ||
| 5515 | фотонабором | ||
| 5516 | аппликацией | ||
| 5517 | комбинированным способом | ||
| 5520 | Изготовление фотошаблонов | ||
| 5521 | Изготовление фотошаблонов | Съемка репродукционной камерой | |
| 5522 | Обработка фотоматериалов | ||
| 5523 | Фотопечать | ||
| 5524 | Ретуширование | ||
| 5525 | Мультиплицирование | ||
| 5526 | Изготовление промежуточного фотошаблона | ||
| 5527 | Изготовление копий промежуточного фотошаблона | ||
| 5528 | Изготовление эталонного фотошаблона | ||
| 5529 | Изготовление рабочего фотошаблона | ||
| 5540 | Фотолитография | ||
| 5541 | Фотолитография | Экспонирование | |
| 5542 | Экспонирование | контактное | |
| 5543 | бесконтактное (проекционное) | ||
| 5544 | совмещенное | ||
| 5545 | Проявление | ||
| 5546 | Задубливание (полимеризация), фиксирование | ||
| 5547 | Сенсибилизация | ||
Литература
- 172 просмотра