Код 55 – Фотохимико-физическая обработка

Коды операций фотохимико-физической обработки

Фотохимико-физическая обработка – процесс формирования на поверхности пластины элементов микросхем при помощи чувствительных к излучениям покрытий, способных воспроизводить заданное взаимное расположение и конфигурацию этих элементов.

Технологические операции классифицируют в той технологической последовательности, в которой происходит получение схем, фотошаблонов.

Часть операций этого раздела (нанесение фоторезиста, удаление фоторезиста, монтаж оригинала), как неспецифичные для этого процесса, вынесены в другие разделы («Операции общего назначения», «Термическая обработка», «Сборка» и др.).

Перечень наименований операций и их коды приведены в таблице.

Таблица — Перечень наименований операций фотохимико-физической обработки и их коды
Код Наименование операции
5500 Фотохимико-физическая обработка
5510 Изготовление оригинала
5511 Изготовление оригинала пересчетом таблицы координат
5512 вырезанием
5513 вырезанием на автоматическом координатографе
5514 на координатографе в режиме ручного ввода информации
5515 фотонабором
5516 аппликацией
5517 комбинированным способом
5520 Изготовление фотошаблонов
5521 Изготовление фотошаблонов Съемка репродукционной камерой
5522 Обработка фотоматериалов
5523 Фотопечать
5524 Ретуширование
5525 Мультиплицирование
5526 Изготовление промежуточного фотошаблона
5527 Изготовление копий промежуточного фотошаблона
5528 Изготовление эталонного фотошаблона
5529 Изготовление рабочего фотошаблона
5540 Фотолитография
5541 Фотолитография Экспонирование
5542 Экспонирование контактное
5543 бесконтактное (проекционное)
5544 совмещенное
5545 Проявление
5546 Задубливание (полимеризация), фиксирование
5547 Сенсибилизация

Литература

Добавить комментарий